高精密洁净实验舱是一款自主研发、精密自动化控制、模块化设计安装的科研型实验室，由高精密温湿控制系统、洁净系统、自动控制系统、智能控制系统等组成；为微纳米加工、精密测量等场所提供超高精密的环境控制，提高科研质量。
